战国 御史官
战国时期，职掌文献史籍的御史官就已有明显的监察职能。
秦汉时期
御史大夫
秦代开始形成制度，之后便成为历代的一项重要政治制度。
汉承秦制，但较秦制更严密。在西汉，中央仍设御史大夫作为长官，御史中丞为副，兼掌皇帝机要秘书和中央监察之职。在地方上，西汉初年废监御史，由丞相随时委派“丞相史”，分刺诸州。汉武帝时，为加强中央对地方的控制，全国分为13个监察区，叫州部，每个州部设刺史1人，为专职监察官,以“六条问事”,对州部内所属各郡进行监督。丞相府设司直，掌佐丞相举不法。朝官如谏大夫加官给事中，皆有监察劾举之权。郡一级有督邮，代表太守，督察县乡。
魏晋南北朝时期
御史（中尉、中丞）
这一时期基本处于封建割据的分裂情形。各朝的监察机构名目不一，但体制与汉代相同，亦有部分变化。由于监察长官权势日除了这些之后，御史“闻风奏事”的制度也在这个时期形成。
隋唐时期
御史大夫
隋代时,中央的监察机构仍为御史台,改长官御史中丞为御史大夫，下设治书御史2人为副；改检校御史为监察御史，共12人，专执掌外出巡察。唐代提高了隋代的监察制度,使监察机构更趋完备。
谏官体系在唐朝也趋于完备。
宋
御史，通判，转运使
宋代监察机构随着封建专制主义的提高而加强。中央沿袭唐制，御史台仍设三院。地方如设通判，与知州平列，号称监州，有权随时向皇帝报奏，成为皇帝在地方上的耳目。除了这些之后，路一级的转运使、提点刑狱公事等，也负有监察州县的职责。
元
御史大夫
元代中央设御史台，御史大夫秩高从一品，“非国姓（蒙古贵族）不以授”（《元史·太平传》）。还在江南和陕西特设行御史台，其组织与中央御史台相同，作为中央御史台的派出机关。这是元代监察制度的重大提高。全国分为22道监察区，各设肃政廉访使（即监察御史）常驻地方，监察各道所属地方官吏。
明
左右都御史
明代监察制度随着君主专制中央集权的强化而得到充分提高和完备。中央将御史台改为都察院，“主纠察内外百官之司”。都察院设左右都御史、副都御史和佥都御史。下设13道监察御史，共110人，负责具体监察职业。
明代还将地方分区监察和中央按体系监察相结合，专设六科给事中，稽察六部百司之事，旨在加强皇帝对六部的控制。礼、户、吏、兵、刑、工六科，各设都给事中1人，左右都给事中各1人，给事中若干人。
清
御史
清代监察机构沿袭明代，又有所提高。在中央，仍设都察院。早在入关之前，皇太极即下诏：“凡有政事背谬及贝勒、大臣骄肆慢上、贪酷不清、无礼妄行者,许都察院直言无隐”。“倘知情蒙弊,以误国论”（《大清会典·事例》卷九百九十八）。各级官吏均置于都察院监督之下。清代都察院以都御史为主事官，他与六部尚书、通政使、大理寺卿等重要官员共同参与朝廷大议。
清代，一方面允许监察官风闻言事，直言不讳；另一方面为了防止监察官权力过大，规定御史对百官弹劾要经皇帝裁决。到宣统年间，新内阁成立，都察院被撤销。
影响与特点：中国封建社会历代的监察制度，对加强政府对官吏的监督,清□除害,调整统治阶级内部矛盾，起了一定的影响。它成为加强中央对地方的控制、强化皇权、巩固封建统治的重要手段。但在封建君主专制制度下，监察制度是皇权的附属品，它能否发挥正常影响，与皇帝的明昏有密切关系。同时，由于封建政权和封建官吏的阶级本性所决定，监官本身因贪赃枉法而获罪者也不乏其人。
